קו ציפוי מזווץ מגנטרון

קו הייצור של ציפוי ואקום הוא מערכת ייצור מיוחדת מאוד, המשמשת בעיקר להפקיד שכבה אחת או יותר של סרטים פונקציונליים דקים במיוחד על פני המצעים (כמו זכוכית, פלסטיק, מתכת, קרמיקה, רקיק מוליכים למחצה וכו ').

הליבה שלו היא לאדות או לייננה את חומר הציפוי באמצעות שיטות פיזיות שונות בסביבת ואקום מאוד, ואז להתעבות אותו לסרט על פני המצע.

ציפוי ואקום של נחושת, כסף וחומרים מוליכים אחרים על פני קרמיקה של רכיב חשמלי וקרמיקה של לוח מעגלים.

 

זה מתאים גם לתצהיר ואקום של שכבות סרטי מתכת שונות על פני השטח של יצירות עבודה אחרות דמויי צלחת (זכוכית, לוח אקרילי וכו ');

שדה מגנטי מגביל פלזמה

זהו מאפיין הליבה של התזת מגנטרון. על ידי יישום שדה מגנטי חזק של צורה ספציפית (בדרך כלל צורת טבעת או מסלול מירוצים) בסמוך למשטח היעד, האלקטרונים מוגבלים בסמוך למשטח היעד כדי ליצור תנועה ספירלית, מה שמגדיל מאוד את ההסתברות להתנגשות ויינון של אלקטרונים עם אטומי גז (בדרך כלל ארגון).

שיעור יינון גבוה ושיעור התצהיר גבוה

כליאת שדה מגנטי מגדילה משמעותית את צפיפות הפלזמה ואת קצב היינון, מה שהופך את תהליך הפיזוק ליעיל יותר.

משמעות הדבר היא כי בלחץ גז נמוך יחסית ובמתח/כוח מפיץ נמוך, ניתן להשיג שיעורי פיזורים ותמציות גבוהים בהרבה מאשר פיזור DC קונבנציונאלי.

תהליך טמפרטורה נמוכה

מכיוון שרוב האנרגיה משמשת ליינון אטומי היעד של הגז והמתזוק, מעט יחסית חום מועבר למצע.

איכות סרטים טובה

צפיפות טובה, הדבקה חזקה, טוהר גבוה ואחידות טובה.

מגוון רחב של יכולת הסתגלות חומרית

יכולת שליטה טובה בתהליך

קו ההפקה של ציפוי מגנטרון מפלס הפך לאחת הטכנולוגיות המיינסטרים להכנת סרטים דקים פונקציונליים (כמו סרטים אופטיים, סרטים מוליכים, סרטים קשים עמידים בלאי, סרטים דקורטיביים, סרטי סרטי קורוזיה, סרטים מגנטיים, סרטי טמפרטורה גבוהה, סרטי טמפרטורה מעולה, וכו ') בתעשייה המודרנית בגלל תכונות קומפקומטיות, כדאוגות, כגדולים, כגדולים, כגדולים, Stroughtisations Straptions, Stroughtocations Stroughtisting, Stroughtisations Straption, Stroughtocations Stroughtisations, Stroughations Stroughations Stroughations, הדבקה), יכולת הסתגלות חומרית רחבה, אחידות טובה ושליטה. יש לו יישומים רחבים במיוחד במיקרו -אלקטרוניקה, תצוגות לוח שטוחות, תאים סולאריים, ציפויי כלים, חלקי רכב, אריזה, קישוט, מכשירים אופטיים ושדות אחרים.