קומפוזיציה של ציוד מטרוט של מגנטרון

ציוד התזת מגנטרון מורכב בעיקר מהחלקים הבאים:

1. חומר יעד: רכיב הליבה של ציוד התזת מגנטרון, עשוי בדרך כלל מתכת, סגסוגת וחומרים אחרים.

2. תא ואקום: סביבת ההפעלה של ציוד התזת מגנטרון צריכה להתבצע בתנאי ואקום גבוהים, ותא הוואקום ממלא את התפקיד של שמירה על ואקום.

3. מערכת Magnetron: השדה המגנטי משמש לשליטה על הפצצת היונים על פני חומר המטרה כדי לגרום לפיזוק.

4. מסגרת מצע: משמשת לתמיכה בחומר המצע לעיבוד.

5. מערכת חימום: במקרים מסוימים, יש לחמם את חומר היעד והמצע כדי לשלוט בתהליך הפיזוק.