סיווג עיקרי של מכונות ציפוי ואקום

ישנן שתי קטגוריות עיקריות: ציפוי של ציפוי תצהיר אידוי וציפוי התמצית התמצית, הכוללים סוגים רבים, כולל אידוי יון ואקום, התזת מגנטרון, אפיטקסיה של קרן מולקולרית MBE, שיטת סול-ג'ל וכו '.
1. לציפוי אידוי:
באופן כללי, חומר המטרה מחומם כדי לאנד את רכיבי השטח בצורה של קבוצות או יונים אטומיים.
אחידות עובי תלויה בעיקר ב:
1. התואר ההתאמה של הסריג בין חומר המצע לחומר היעד
2. טמפרטורת פני מצע
3. כוח אידוי, שיעור
4. תואר ואקום
5. זמן ציפוי, גודל עובי.
אחידות רכיב:
אחידות הרכיב של ציפוי אידוי אינה קלה להבטיח. הגורמים הספציפיים שניתן להתאים זהים לעיל. עם זאת, בשל מגבלת העיקרון, לצורך ציפוי רכיבים שאינו מצביע, אחידות הרכיב של ציפוי אידוי אינה טובה.
אחידות אוריינטציה קריסטלית:
1. תואר התאמת סריג
2. טמפרטורת מצע
3. שיעור אידוי
ניתן לחלק את ציפוי התזות לסוגים רבים. באופן כללי, ההבדל מציפוי אידוי הוא שקצב הפיזוק יהפוך לאחד הפרמטרים העיקריים.
בציפוי התזות, קל לניטור לייזר PLD קל לשמירה על אחידות רכיבים, אך אחידות העובי בסולם האטומי היא ירודה יחסית (מכיוון שהיא גם פועמת), והשליטה בכיוון הקריסטל (קצה חיצוני) גם היא כללית יחסית.