תהליך ציפוי של מכונת ציפוי ואקום

1. טיפול מקדים

- ניקוי מצע: שומרי קולית אולטרה סאונד + ניקוי פלזמה (כוח 50-200W).

- הידוק ומיקום: וודא שהמרחק בין המצע למקור האידוי הוא 20-50 ס"מ (המשפיע על האחידות של עובי הסרט).

2. שלב ציפוי

-עיטור מראש: הציג גז ארגון (קצב זרימה 10-50SCCM) להסרת תחמוצות על פני היעד.

- תצהיר עיקרי:

-ציפוי אידוי: קצב 0.1-10nm/s (כוח קרן אלקטרונים 5-20kW).

-התזת מגנטרון: קצב התצהיר 0.01-1 מיקרומטר/דקה (לחץ גז 0.1-1PA).

3. לאחר הטיפול

-חישול וחיזוק (200-400 מעלות, 1-2 שעות) לשיפור הידבקות הסרט (מבחן שריטות גדול יותר או שווה ל- 5n).