ציוד ציפוי ואקוםלעתים קרובות נתקל במצבים בלתי צפויים במהלך הפעולה, כגון הפסקות מים, הפסקות חשמל ונזילות אוויר. כאשר הם מתמודדים עם מצבים אלה, המפעילים עשויים להיות אובדי עצות ולא בטוחים כיצד לטפל בהם. להלן, Puyuan Vacuum תספק תוכנית חירום מפורטת להפעלת ציוד ציפוי ואקום:
1. ציוד ציפוי PVD דורש ניקוי לאחר תקופת פעולה.
לאחר פרק זמן של פעולה, בדרך כלל 50 עד 70 מחזורי תנור, ציוד ציפוי PVD זקוק לניקוי כדי להסיר אבק מהכבשן. לאחר מכן, הפעל את התנור פעם אחת ללא עומס. ההליך כולל תחילה פינוי של התנור לרמת ואקום גבוהה מ-10⁻² Pa, ולאחר מכן חימום בטמפרטורה שבדרך כלל גבוהה ב-20 מעלות מטמפרטורת הפעולה הרגילה. שמרו על טמפרטורה זו ברמה הגבוהה ביותר האפשרית למשך שעה אחת לפחות, ולאחר מכן הניחו לה להתקרר באופן טבעי. תהליך זה שומר על החלל הפנימי של ציוד ציפוי הוואקום נקי.
2. החלפת בלון הגז
כאשר יש צורך להחליף את בלון הגז המשמש בציוד ציפוי ואקום, הסר את שסתום ויסות הלחץ והחלף אותו בצילינדר חדש. ודא שאין דליפות במהלך ההתקנה. לאחר החלפת הצילינדר, לפני חימום חלק העבודה, יש לטהר את התנור במהלך תהליך הפינוי כדי להסיר כל אוויר שנלכד בצינור במהלך החלפת הצילינדר, ולשמור על נקיון צינור הטיהור.
3. מרחו כמות קטנה של שמן סיכה על חלקים מסתובבים.
מרחו כמות קטנה של שמן משאבת ואקום על החלקים המסתובבים לצורך שימון. ודא שמשאבת הוואקום נקייה, נקייה מברזל, חול ואבק. ודא מגע טוב במערכת המיקום. משאבת הוואקום צריכה להסתובב בקלות ללא חוסר אחידות או חסימה חמורה.
4. דליפת אוויר פתאומית זוהתה במהלך פעולה רגילה
אם מתגלה דליפת אוויר פתאומית במהלך פעולה רגילה, וניתן לאתר את נקודת הדליפה באופן מיידי, יש לאטום אותה עם איטום ואקום. ניתן לבצע תיקונים נוספים לאחר סיום העבודה הנוכחית. אם לא ניתן לאתר את הנזילה, יש להפסיק את העבודה מיד ולבצע תיקונים.
5. הפסקות מים וחשמל במהלך טמפרטורות גבוהות
ציוד ואקום פגיע ביותר להפסקות מים וחשמל במהלך טמפרטורות גבוהות. לכן, על המשתמשים להתקין באופן אידיאלי מיכל מים לגיבוי או לחבר אותו לאספקת מים מהברז במהלך התקנת הציוד. אם הציוד חווה הפסקת מים או חשמל במהלך טמפרטורות גבוהות, יש לסגור את כל המשאבות והשסתומים. על המפעילים לחבר מיד את אספקת המים לגיבוי או את מי הברז כדי לקרר את הציוד במים. אם לא ניתן להחזיר את הכוח במהירות, יש לפתוח את שסתום הניפוח הידני של מערכת הניפוח/ניפוח כדי לנפח את הציוד להגנה, בלחץ ניפוח של כ-0.02 MPa. לאחר מכן, סובב את כל הכפתורים בארון הבקרה למצב "כבוי". במקביל, יש למרוח מגבת לחה על ממשק יציאת האלקטרודה ולהחליף אותה באופן קבוע כדי למנוע התחממות יתר של ממשק האלקטרודה ונזקים לטבעת האיטום.
כמהנדס שעובד עם ציוד ציפוי ואקום, שליטה בתוכניות לתגובה לשעת חירום היא חיונית. מצבים בלתי צפויים יכולים להיווצר במהלך הפעולה, והתערבות בזמן חיונית כדי למנוע הפסדים מיותרים.
