קיימות כיום שיטות רבות לניטור סרטים דקים במכונות ציפוי ואקום, בעיקר כולל: ניטור ויזואלי, ניטור ערכים קבועים (קיצוניים), ניטור תנודות גבישים וניטור זמן. מאמר זה יציג בעיקר שלוש שיטות: ניטור חזותי, ניטור ערך קבוע (קיצוני) וניטור תנודות גבישים. ניטור חזותי, המכונה גם ניטור ישיר, משתמש בעיניים כדי לנטר את הסרט. במהלך תהליך צמיחת הסרט, תופעות הפרעות גורמות לשינויי צבע, ואנו שולטים בעובי הסרט על סמך שינויי צבע אלו. לשיטה זו יש מידה מסוימת של שגיאה והיא אינה מדויקת במיוחד, דורשת ניסיון.
ניטור ערך-קבוע (קיצוני-ערך): זה משתמש בעיקר בניטור אופטי רפלקטיבי (משדר). שיטת ניטור- ערך קיצוני: ככל שעובי הסרט גדל, ההחזר והשידור שלו משתנים בהתאם. כאשר ההשתקפות או השידור מגיעים לנקודה קיצונית, ניתן לקבוע שהעובי האופטי ND של הציפוי הוא כפולה שלמה של -רבע מאורך הגל הניטור (λ). עם זאת, לשיטת הערך הקיצוני- יש שגיאה גדולה יחסית מכיוון שהרפלקטיביות או השידור משתנים באיטיות רבה ליד הערך הקיצוני; כלומר, ה-R/T משתנה רק לאחר עלייה משמעותית בעובי הסרט ND. המיקום הרגיש ביותר הוא באחת-שמינית מאורך הגל. שיטת ניטור ערך קבוע-: שיטה זו משתמשת בעובדה שנקודת העצירה של הציפוי אינה ב-רבע מאורך הגל הניטור. לאחר מכן, המחשב מחשב את השתקפות (או העברה) של עובי הסרט הכולל באורך גל 1, שהוא נקודת העצירה של הציפוי. ניטור תנודת קריסטל: עקרון העבודה של תנודת גבישים מבוסס על העיקרון שתדר הרטט של גביש קוורץ הוא ביחס הפוך למסה שלו. עם זאת, חסרון אחד של ניטור קוורץ הוא שכאשר עובי הסרט גדל לרמה מסוימת, תדירות הרטט אינה קשורה באופן ליניארי לחלוטין לעובי בשל תכונותיו של הקוורץ עצמו. במקרה זה, יש להשתמש במתנד קוורץ חדש.
למספר שיטות ניטור לכל אחת יש את היתרונות והחסרונות שלהן, אך עבור ציפויים מרובי-שכבות, ניטור אופטי הוא בדרך כלל השיטה העיקרית, בתוספת תנודת גביש קוורץ. בנוסף, עבור תהליכים מסוימים הדורשים הזרקת גז במהלך הציפוי, יש צורך במדדי זרימה או מדי לחץ, הדורשים שסתומים מדויקים ומערכות חישה פוטו-אלקטריות לצורך בקרה. מכונות ציפוי ואקום דורשות גם מערכת בקרת סיבוב, שבה הציר הראשי של המטריה ממוקם בתוך מיסב, ומנוע מניע את המיסב כדי לסובב את המטריה. מהירות הסיבוב נשלטת לאחר מכן על ידי PLC. סיבוב כור ההיתוך מונע על ידי מנוע ומשתמש בספירת אינדוקציה פוטו-אלקטרית, בעוד לוחית המיגון מסתובבת באמצעות מתג פנאומטי. כדי להאיץ את קצב השאיבה ולהשיג רמת ואקום מסוימת, יש לקרר את תא הוואקום, להקפיא את האוויר בפנים ל--130 מעלות צלזיוס ולהקפיא ולהסיר כל אדי מים. סעיף הבקרה החשמלי מאמץ בעיקר בקרה אוטומטית של PLC. התוכנית{10}}המוקדמת מוזנת לראשונה ל-PLC, והמעגל הראשי של המעבד מחובר לכל מערכת ללא עומס בלוח ההפעלה. כאשר מתג בלוח ההפעלה נלחץ, המידע מועבר למעבד המרכזי, ולאחר מכן מערכת הבקרה המרכזית מנתחת ומוציאה הוראות למעגלי הסניף לביצוע והשלמה של הפעולה.
מכונות ציפוי ואקום הן מכשירים המשלבים דיסציפלינות מרובות. הם משלבים את הטכנולוגיות האלקטרו-מכניות המתקדמות ביותר, טכנולוגיות בקרה, אוטומציה חשמלית, טכנולוגיות IT, טכנולוגיות קירור, מערכות משולבות מיקרו-מעגלים, מערכות בקרת מתח גבוה,-מערכות בקרת מתח גבוה, טכנולוגיות מכניות, טכנולוגיות עיבוד, טכנולוגיות אופטו-אלקטרוניות, טכנולוגיות אופטיות, טכנולוגיות בקרה פניאומטיות, טכנולוגיות חישה אופטו-אלקטרוניות, טכנולוגיות חישה אופטו-אלקטרוניקות, טכנולוגיות תקשורת {2} טכנולוגיות ועוד. מכונות ציפוי ואקום יכולות להיחשב כמייצגות של תעשיות מתפתחות. כיום, מכונות ציפוי ואקום נמצאות בשימוש נרחב, במיוחד בייצור סרטים דקים. הסרטים הדקים השונים המיוצרים משמשים במערכות אופטו-אלקטרוניות ובמכשירים אופטיים שונים, כגון מצלמות דיגיטליות, מצלמות וידיאו דיגיטליות, טלסקופים, מקרנים, בקרת אנרגיה, תקשורת אופטית, טכנולוגיית תצוגה, אינטרפרומטרים, לוויינים וטילים מלאכותיים, לייזרים מוליכים למחצה, מערכות מיקרו-אלקטרו-מכניות, תעשיית המידע, ייצור לייזר, תעשיית אדריכלי הרכב, תעשיית זכוכית, פילטרים, תעשיית זכוכית, פילטרים, פריטי נוי, מטבעות, עדשות משקפיים ועוד. מכונות ציפוי השתלבו באופן הדוק בחיי אדם.
