אֶחָד. החלף באופן קבוע את שמן משאבת הדיפוזיה.
שמן משאבת דיפוזיה משמש לתקופה של זמן, כחודשיים (שתי משמרות). בשל סביבות ארוכות טווח של טמפרטורות-גבוהות-, גם אם משאבת הדיפוזיה מופעלת רק בוואקום גבוה, שאריות חמצן ורכיבים אחרים עלולים להגיב עם שמן משאבת הדיפוזיה. טמפרטורה גבוהה זו עלולה גם לגרום לשמן משאבת הדיפוזיה להתפרק, לפגוע באיכותו ולהאריך את זמן השאיבה. אם אנו רואים שזמן השאיבה מתארך יתר על המידה, יש להחליפו.
דוּ. משאבות ואקום
שמן משאבה מכנית ושמן משאבת תחזוקה יחוו שינויים באיכות לאחר חודשיים של שימוש. זה יכול להתרחש עקב שילוב של לחות, זיהומים וגורמים נוספים, שעלולים לגרום לצמיגות השמן להידרדר ולצניחה של הוואקום, מה שמחייב החלפה. עבור ציוד חדש, החלפה צריכה להיעשות בתוך השבועיים הראשונים לשימוש. במהלך תקופת ההפסקה-, השמן מכיל ריכוז גבוה של אבק ברזל, מה שעלול להגביר את הבלאי.
שְׁלוֹשָׁה. ניקיון והיגיינה
הקפידו על היגיינת הציוד וסביבתו באופן שוטף, תוך שמירה על ניקיון הפנים והחוץ של הציוד ועל הסביבה המאורגנת ליצירת סביבת עבודה טובה והבטחת בטיחות.
ארבע. ניקוי אמכונת ציפוי ואקום אופטית
לאחר שבוע של פעולה, חומר הציפוי יצפה לא רק את משטח העבודה אלא גם את התוחם בתוך החדר בשל הציפוי הלא-{0}}כיווני שלו. הציפוי יהפוך בהדרגה לעבה יותר.
סרט זה, בשל המבנה וההסתבכות הרופפים שלו, סופג כמות גדולה של גז, מה שגורם לציוד ציפוי הוואקום לשאוב אוויר לאט יותר. בשלב זה, יש לנקות את החדר ואת התוחם. חלקי פירוק מיותרים ניתנים לשיוף נקי.
ניתן להשרות את התוחם בתמיסת חומצה הידרופלואורית. יש לקבוע את היחס בין חומצה הידרופלואורית למים על סמך זמן ההשריה הנדרש והאפקט הרצוי על התוחם. יש לייבש את התוחם לפני ההתקנה.
לפני הייבוש, נגב את התוחם יבש ככל האפשר. לאחר ניקוי מסגרת העבודה ורכיבים אחרים בנייר זכוכית, הסר את כל האבק מתא הוואקום. ניתן לעשות זאת עם שואב אבק.
לבסוף, בעת התקנת הציפוי, יש לנקות גם את תא הוואקום וגם את התחבושת בעזרת מגבון מבוקר-עם אלכוהול. השימוש באקדח אלקטרונים ובמקור יונים כדי לסייע בציפוי עלול להקשות על הניקוי; ניתן להשתמש בהתזת חול או בשיטות ניקוי אחרות.
