ציוד ציפוי ואקום לאידוי קרן אלקטרונים משמש בדרך כלל להפקדת ציפוי AR/AF, כולל סרטים קשים, סרטים דקורטיביים, סרטי ITO, מסנני פס פס וסרטי HR. הוא מתהדר ביתרונות כמו יעילות גבוהה, כושר ייצור חזק יותר ועלויות ייצור נמוכות יותר. עבור סרטי AR (העברת זכוכית מצע > 91.5%), בפס אורך הגל של 420-680nm, שידור ממוצע-חד צדדי > 95% והחזרה < 0.5% (ממוצע). שידור ממוצע דו צדדי > 98% והשתקפות < 0.5% (ממוצע). יש לו יישומי שוק רחבים.
טכנולוגיית ציפוי אידוי ואקום כוללת הנחת החומר המתאדה בכור פלדה מקורר- במים וחימום ישיר שלו באמצעות קרן אלקטרונים. החומר המתאדה מתאדה ואז מתעבה על פני המצע ליצירת סרט. זוהי שיטת חימום חשובה ומגמה מתפתחת בטכנולוגיית ציפוי אידוי ואקום. אידוי קרן האלקטרונים מתגבר על חסרונות רבים של אידוי קונבנציונלי לחימום התנגדות והוא מתאים במיוחד לייצור חומרי סרט דק -גבוהים- וטוהר- גבוה.
ניתן לסווג טכנולוגיית אידוי ואקום, הנשענת על אידוי הפצצת קרן אלקטרונים, למספר סוגים על סמך צורת מקור האידוי של קרן אלקטרונים, כולל רובי טבעת, רובים ישרים, רובים מסוג E-ותותחי אלקטרונים קתודיות חלולים.
אקדח טבעת פולט אלומת אלקטרונים מקתודה בצורת טבעת-. לאחר מיקוד והסטה, הקרן פוגעת בכור היתוך, וגורמת למתכת להתאדות. המבנה שלו פשוט יחסית, אבל ההספק והיעילות שלו נמוכים, מה שהופך אותו בעיקר למכשיר מעבדה; זה כבר לא בשימוש במתקני ייצור.
אקדח ישר הוא מאיץ ליניארי אקסיסימטרי שבו אלקטרונים נפלטים מקתודה נימה, ממוקדים לתוך קרן עדינה, מואצים על ידי האנודה, ואז פוגעים בכור היתוך, נמס ומאדים את חומר הציפוי. רובים ישרים נעים בהספק בין כמה מאות וואט לכמה מאות קילוואט; חלקם משמשים לאידוי ואקום, בעוד שאחרים משמשים להתכה בוואקום. החסרונות של רובים ישרים הם שהחומר המתאדה יכול לזהם את מבנה האקדח, ולגרום לאי יציבות תפעולית. בנוסף, יוני נתרן הבורחים מהנימה יכולים גם לזהם את הציפוי. לאחרונה, חברה מערב גרמנית פיתחה גרסה משופרת של האקדח הישר על ידי הוספת שדה מגנטי מסיט ביציאת קרן האלקטרונים ושילוב מערכת פינוי עצמאית בנוט. זה לא רק מבטל לחלוטין את זיהום החוטים של הציפוי אלא גם משפר את תוחלת החיים של האקדח.
רובה אלקטרונים מסוג -e, עם סטייה של 270- מעלות, מתגבר על החסרונות של אידוי אלקטרוני של רובה ישר- והוא אחד ממקורות האידוי של אלומת האלקטרונים הנפוצים ביותר. אקדח האלקטרונים מסוג e- יכול ליצור צפיפות הספק גבוהה, להמיס מתכות בנקודת -היתוך- גבוהה, ומייצר חלקיקי אידוי באנרגיה גבוהה, וכתוצאה מכך לקשר חזק בין הסרט למצע ואיכות סרט טובה. החסרונות הם שאקדח האלקטרונים דורש ואקום גבוה ומתח גבוה שלילי, מה שמוביל למבנה ציוד מורכב, בטיחות לקויה, קושי בתחזוקה ועלות גבוהה.
אקדח האלקטרונים הקתודיים החלולים משתמש באלומת אלקטרונים פלזמה הנוצרת על ידי פריקת קתודה חלולה-נמוכה ו-גבוהה כמקור החימום שלו. הוא משתמש בצינור טנטלום חלול כקתודה, כור היתוך כאנודה, ואנודה עזר ליד צינור הטנטלום. במהלך שקיעת אדים באמצעות אקדח האלקטרונים הקתודי החלול, ליוני האידוי שנוצרו יש אנרגיה גבוהה וקצב יינון גבוה, וכתוצאה מכך סרטים באיכות גבוהה-. אקדח האלקטרונים הקתודי החלול דורש רמת ואקום נמוכה יותר מאשר אקדח האלקטרונים מסוג e- ופועל במתח נמוך, מה שהופך את הציוד לפשוט יותר, בטוח יותר ופחות יקר. נכון לעכשיו, הן אקדחי אלקטרונים מסוג e- והן אקדחים קתודיים חלולים יושמו בהצלחה בציוד שקיעת אדים וציפוי יונים בארצנו. כוח הנשק יכול להגיע לעשרות אלפי קילוואט, וסרטים דקים שונים הופקדו לתעשיות כמו מכונות ואלקטרוניקה.
היתרונות של מקור האידוי בציוד ציפוי ואקום לאידוי קרן אלקטרונים הם:
1) מקור החום של הפצצת אלומת האלקטרונים הוא בעל צפיפות זרם אלומה גבוהה, ומשיג צפיפות אנרגיה גבוהה בהרבה ממקורות חימום התנגדות. זה יכול לאדות חומרים עד 3000 מעלות צלזיוס עם קצב אידוי גבוה;
2) היות והחומר המתאדה מונח בכור היתוך מקורר במים, נמנעים אידוי של חומר המיכל ותגובות בין חומר המיכל לחומר האידוי, דבר שהוא חיוני לשיפור טוהר הציפוי;
3) ניתן להחיל חום ישירות על פני חומר האידוי, וכתוצאה מכך יעילות תרמית גבוהה והפסדים מינימליים באמצעות הולכת חום וקרינה.
