עיקרון העבודה של מכונת ציפוי רב-קשת

מכונת הציפוי הרב-קשתית מייצרת פלזמה בטמפרטורה גבוהה באמצעות מקורות קשת מרובים (4-16), מאדה את חומר המתכת ומפקידה אותה על פני המצע כדי להשיג ציפוי יעיל (אחידות עובי הסרט ± 5%). לשכת הוואקום הליבה שלו מחולקת לחדר ציפוי (תואר ואקום פחות או שווה ל 10^-3PA) ולחדר טיפול מראש. הראשון מבטיח סביבת טעימה נמוכה, והאחרון משמש לניקוי מצע וליטוש לשיפור ההדבקה. פרמטרי התהליך העיקרי כוללים כוח מקור קשת (20-200A), טמפרטורת המצע (100-300 מעלות) וקצב התצהיר (1-10nm/s), שצריך להתאים באופן דינמי על פי צורת המצע (כגון משטחים מעוקלים מורכבים) וחומר (מתכת/קרמיקה). זה מתאים לסצינות כמו סרטים אופטיים של עדשה נגד השתקפות וכלי ציפוי קשה.