ציפוי יונים מנצל פריקת גז בתנאי ואקום כדי ליינן את הגז או החומר המתאדה. תחת הפצצה של יוני גז או יוני חומר מתאדים, החומר המתאדה או המגיבים שלו מופקדים על חומר העבודה. זה כולל ציפוי יונים מקרטעת מגנטרון, ציפוי יונים תגובתי, ציפוי יונים פריקת קתודה חלולה (איוד קתודה חלולה), וציפוי יונים מרובים- (ציפוי יונים קתודיות). ציפוי יונים משלב פריקת זוהר וטכנולוגיית פלזמה עם אידוי ואקום, משפר משמעותית את ביצועי הציפוי ומרחיב את היישום שלו. בנוסף לשיתוף היתרונות של קירוי ואקום, ציפוי יונים מציע הידבקות סרט חזקה, תכונות עקיפה מצוינות ומגוון רחב של חומרי ציפוי.
כתוצאה מכך, הוא חווה התפתחות מהירה הן מקומית והן בינלאומית בשנים האחרונות. העיקרון הבסיסי של ציפוי יונים הוא יינון אדי מתכת או סגסוגת באמצעות זוהר או פריקת קשת מגז אינרטי. ציפוי יונים כרוך בחימום, אידוי ותצהיר של חומר הציפוי (כגון TiN ו-TiC).
כאשר אטומי חומר הציפוי המתאדה עוברים דרך אזור הזוהר, חלק קטן הופך להיות מיונן ובהשפעת השדה החשמלי, עף לעבר חומר העבודה, פוגע במשטח באנרגיות של כמה אלפי וולט אלקטרונים. הם יכולים לחדור את המצע לעומק של מספר ננומטרים, ולשפר משמעותית את ההדבקה של הציפוי. אטומי חומר מאוגדים מאוגדים מופקדים ישירות על חומר העבודה ליצירת סרט. הקפיצה של יוני גזים אינרטיים ויונים של חומר ציפוי על משטח העבודה מסירה גם מזהמים, ובכך משפרת את ההידבקות.
הטכנולוגיות בהן משתמשים מכונות ציפוי ואקום יונים, מכונות ציפוי אידוי ומכונות ציפוי מקרטעת מגנטרון שונות. לעקרונות טכנולוגיית הציפוי הללו יש גם יתרונות משלהם. ניתן לבחור שיטות ציפוי שונות בהתאם לחומר הציפוי ושכבת הסרט כדי לענות על דרישת השוק.
