מכונת ציפוי הוואקום האופטית מורכבת ממערכת ואקום, מערכת אידוי, מערכת קירור ומערכת חשמל. מערכת הוואקום מורכבת ממיכל ואקום ומערכת פליטה. מיכל הוואקום הוא הגוף העיקרי של מכונת הציפוי, ותהליך הציפוי הושלם במיכל הוואקום. מיכל הוואקום ומערכת הפליטה מחוברים באמצעות שסתום חיבור. על מנת למנוע את השפעת מולקולות האוויר על היונים המקרזים ולשפר את איכות שכבת הסרט, יש למקם את הרכיבים האופטיים ומקור היונים בסביבת ואקום במהלך הפעולה.
מערכת הפליטה מורכבת בעיקרה ממשאבה מכנית, משאבת שורשים ומשאבת ואקום האחראית על פליטת הגז במיכל הוואקום ויצירת סביבת ואקום במיכל. מערכת האידוי מתייחסת בעיקר למכשיר ליצירת הסרט. ישנם סוגים רבים של מכשירים ליצירת סרטים במכונת הציפוי, כגון חימום התנגדות, אידוי אקדח אלקטרונים, קיצוץ מגנטרון, קיזור בתדר רדיו, ציפוי יונים וכו'.
מכונות ציפוי ואקום אופטי מיישמות סרטים דקים על רכיבים אופטיים באמצעות קיזור ואקום, ומשנות את ההחזר וההעברה של אור בולט. כדי למזער את הפסדי ההשתקפות על פני הרכיב ולשפר את איכות התמונה, לרוב מוחלים שכבות מרובות של סרטים דקים. לאחר ציפוי רכיב אופטי, האור משתקף ומשדר מספר פעמים על פני השטח של הסרט הרב-שכבתי, ויוצר קרני הפרעות מרובות. על ידי שליטה בעובי ואינדקס השבירה של שכבות הסרט, ניתן להשיג הפצות עוצמה משתנות. עיקרון זה יכול לשמש לייצור סרטים רפלקטיביים מקטבים, סרטי פיצול צבע, סרטי אור קר ומסנני הפרעות כדי לענות על צרכים מורכבים יותר.
